[코리아포스트 한글판 김도균 기자]SK가 반도체 제조에 사용되는 고순도 불화수소 국산화에 본격적으로 나섰다.

지난 25일 업계에 따르면 SK그룹 계열 SK머티리얼즈는 올해 안 샘플 공급을 목표로 불화수소 생산 준비에 나섰다.

SK머티리얼즈가 준비하고 있는 불화수소는 '에칭가스'로, 반도체 회로를 깎는 식각 공정과 실리콘 웨이퍼의 이물질을 제거하는 세정 공정용이다.

샘플이 나오는 시점이 올해 말인 것을 감안하면 본격적인 양산 및 공급은 내년 상반기 중으로 예상된다.

SK머티리얼즈는 1982년부터 반도체 소재를 전문적으로 만들어 왔으며 반도체, 디스플레이, 태양전지 등에 사용되는 삼불화질소(NF3)를 국내 최초로 국산화하는 데 성공했다.

또한 육불화텅스텐(WF6)과 같은 증착 가스, 석유화학·철강 등에 적용되는 산업가스를 공급하고 있다.

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